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白光干涉儀-手動平台
型號: WLI LAB-MANUAL
描述: 1.適用於:MEMS,半導體, LCD, LED, Micro lens
生物晶片等微結構表面形狀參數研究
2.量測項目: 2D/3D表面輪廓,粗糙度,膜厚,平面度
磨耗體積,曲率半徑等微結構表面參數量測
3.垂直量測精度:≦0.1nm, 量測範圍: 數nm到10mm
4.可搭配物鏡:x2.5,x5,x10,x20,x50,x100
5.6軸手動量測平台: X,Y,Z軸及旋轉,雙 邊傾斜可調
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