三朋儀器股份有限公司

SANPANY INSTRUMENTS CO., LTD.

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小面積量測白光干涉儀

 

型號: WLI LAB-MANUAL

分類: 光電量測模厚 > 測量儀器 > 奈米3D量測儀

 

描述: 1.適用於:較大面積平面的表面結構形狀量測
2.量測項目: 2D/3D表面輪廓,粗糙度,膜厚,平面度
磨耗體積,曲率半徑等表面參數量測
3.量測面積:14x10mm, 橫向解析:30um
4.垂直量測範圍: 100/150um, 量測精度:≧1nm
5.X-Y電動量測平台:50-300mm或 客製尺寸

 

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