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白光干涉儀(電動平台)
型號: WLI LAB- AUTO
描述: 1.適用於:MEMS,半導體,LCD,LED, Micro lens 生物晶片等微結構表面形狀及粗糙度參數研究
2.量測項目: 2D/3D表面輪廓,粗糙度,膜厚,平面度,磨耗體積,曲率半徑等微結構表面參數量測.
3.垂直量測精度:≦0.1nm, 量測範圍: 數nm到10mm
4.可搭配物鏡:x2.5,x5,x10,x20,x50,x100
5.自動量測，並有 stitching功能，擴大量測面積的耦合圖形觀察
6.X-Y電動量測平台:50-300mm或 客製尺寸
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