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掃瞄式共軛焦輪廓/粗度量測儀
型號: SMS
描述: 1.適用於:大面積表面3D輪廓量測
2.量測項目: 2D/3D表面輪廓,粗糙度,磨耗體積,平坦度,翹曲度,等表面參數量測
3.Z軸量測範圍: 20um-10 mm 可選, 解析: 1nm-300nm.依Z軸選擇
4.X-Y電動平台: 50x50-300x300mm或更大
5.掃瞄時間可以設定
產品規格
型號: SMS
描述: 1.適用於:大面積表面3D輪廓量測
2.量測項目: 2D/3D表面輪廓,粗糙度,磨耗體積,平坦度,翹曲度,等表面參數量測
3.Z軸量測範圍: 20um-10 mm 可選, 解析: 1nm-300nm.依Z軸選擇
4.X-Y電動平台: 50x50-300x300mm或更大
5.掃瞄時間可以設定