產品列表

小面積量測白光干涉儀
型號: WLI LAB-MANUAL
描述: 1.適用於:較大面積平面的表面結構形狀量測
2.量測項目: 2D/3D表面輪廓,粗糙度,膜厚,平面度
磨耗體積,曲率半徑等表面參數量測
3.量測面積:14x10mm, 橫向解析:30um
4.垂直量測範圍: 100/150um, 量測精度:≧1nm
5.X-Y電動量測平台:50-300mm或 客製尺寸
產品規格
型號: WLI LAB-MANUAL
描述: 1.適用於:較大面積平面的表面結構形狀量測
2.量測項目: 2D/3D表面輪廓,粗糙度,膜厚,平面度
磨耗體積,曲率半徑等表面參數量測
3.量測面積:14x10mm, 橫向解析:30um
4.垂直量測範圍: 100/150um, 量測精度:≧1nm
5.X-Y電動量測平台:50-300mm或 客製尺寸