三朋儀器股份有限公司

SANPANY INSTRUMENTS CO., LTD.

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大面積白光干涉儀

 

型號: WLI VLA

分類: 光電量測模厚 > 測量儀器 > 奈米3D量測儀

 

描述: 1.適用於:面積式表面結構形狀量測
2.量測項目:平坦度,波紋度,翹 曲度,Step Height,
2D/3D表面輪廓,粗糙度等表面參數量測
3.量測面積: 10x10到40x40 mm
4.橫向解析:20um 到80um
5.垂 直量測範圍: 數nm到15mm,量測精度:≧1nm

 

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