三朋儀器股份有限公司

SANPANY INSTRUMENTS CO., LTD.

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微細形狀測定儀

 

型號: ET4000

分類: 光電量測模厚 > 測量儀器 > 相關製品

 

描述: 1.具有精密真直度，提高再現性

2. 採用直動式檢出器，無 ARC 誤差問題

3. 具有各種尺寸 Table，客戶可指定尺寸

4. 測定再現性，1 Sigma 5A° 以下

5. 適合半導體100A°~100μm 薄 膜段差量測

 

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