產品規格

 

■ 氣氛控制氣體純化
■ 箱內尺寸：1250L×840W×920H mm
■ 控制：PLC 控制 5.7”液晶顯示幕
■ 氣體純化：除水除氧 H20/O2 <1ppm(v)
■ 可控制氣體：N2、 Ar、He
■ 含真空幫浦 12m3/hr，真空度 <3×10¯3mbar
■ 視窗：Lexan 材質 10mm
■ 傳遞箱：ψ390×600mm
■ 材質 SUS304 2mm
■ 電源：AC110/220V, 0/60Hz