產品規格

 

■ 利用3D數位影像觀測微奈米物質動態變化
■ 非侵入性非破壞性
■ 不必做樣品前處理
■ 適合材料科學生命科學研究半導體晶圓、微機電系統、微光機電系統、薄膜、微光學元件製程使用
■ 可做輪廓、形狀、高度、厚度、粗糙度、RI量測
■ 不必使用防震桌
■ 可做透明、曲面之材料